非易失性半导体存储器件及其制造方法
摘要:
本发明提供一种非易失性半导体存储器件及其制造方法。防止了因从存储单元部向周边电路晶体管注入电荷而导致热载子流特性劣化。在MONOS构造的非易失性半导体存储器件中,在硅衬底(41)的表面区域形成有信息存储用的存储单元部(42)、和用于对该存储单元部(42)进行信息的写入和读出的周边电路部(43)。在存储单元部(42)中形成有多个存储单元(50-1),在周边电路部(43)中形成有多个周边电路晶体管(60)。构成为在周边电路晶体管中不存在电荷蓄积层的构造。由此,可防止周边电路晶体管的电荷注入,从而提高周边电路晶体管的热载子流特性。
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