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抛光设备和抛光方法
Abstract:
一种抛光设备,其具有抛光台(18)和顶圈(20),所述抛光台具有抛光表面(40),所述顶圈用于在独立地控制施加于衬底上的多个区域(C1-C4)上的压紧力的同时将衬底压靠在抛光表面(40)上。该抛光设备具有传感器(52)、监测单元(53)和控制器(54),所述传感器(52)用于监测衬底上的多个测量点的衬底状况,所述监测单元(53)用于对来自传感器(52)的信号执行预定的运算处理,以产生监测信号,所述控制器(54)用于将测量点的监测信号与参考信号进行比较,并且控制顶圈(20)的压紧力,从而使得测量点的监测信号趋同于参考信号。
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