Invention Publication
- Patent Title: 抛光设备和抛光方法
- Patent Title (English): Polishing apparatus and polishing method
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Application No.: CN200580020375.3Application Date: 2005-06-20
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Publication No.: CN1972780APublication Date: 2007-05-30
- Inventor: 小林洋一 , 广尾康正 , 大桥刚
- Applicant: 株式会社荏原制作所
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 王永建
- Priority: 183063/2004 2004.06.21 JP
- International Application: PCT/JP2005/011676 2005.06.20
- International Announcement: WO2005/123335 EN 2005.12.29
- Date entered country: 2006-12-20
- Main IPC: B24B37/04
- IPC: B24B37/04 ; B24B49/10

Abstract:
一种抛光设备,其具有抛光台(18)和顶圈(20),所述抛光台具有抛光表面(40),所述顶圈用于在独立地控制施加于衬底上的多个区域(C1-C4)上的压紧力的同时将衬底压靠在抛光表面(40)上。该抛光设备具有传感器(52)、监测单元(53)和控制器(54),所述传感器(52)用于监测衬底上的多个测量点的衬底状况,所述监测单元(53)用于对来自传感器(52)的信号执行预定的运算处理,以产生监测信号,所述控制器(54)用于将测量点的监测信号与参考信号进行比较,并且控制顶圈(20)的压紧力,从而使得测量点的监测信号趋同于参考信号。
Public/Granted literature
- CN1972780B 抛光设备和抛光方法 Public/Granted day:2010-09-08
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