发明授权
CN1966548B 化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
- 专利标题(英): Polishing medium for chemical-mechanical polishing, and method of polishing substrate member
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申请号: CN200610141890.3申请日: 2000-08-17
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公开(公告)号: CN1966548B公开(公告)日: 2011-03-23
- 发明人: 仓田靖 , 上方康雄 , 内田刚 , 寺崎裕树 , 五十岚明子
- 申请人: 日立化成工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日立化成工业株式会社
- 当前专利权人: 日立化成工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 钟晶
- 优先权: 1999-230930 1999.08.17 JP; 1999-308665 1999.10.29 JP
- 分案原申请号: 008117314 2000.08.17
- 主分类号: C08J5/14
- IPC分类号: C08J5/14 ; H01L21/304
摘要:
本发明提供的化学机械研磨用研磨剂,含有导体氧化剂、金属表面的保护膜形成剂、酸和水,pH低于3,氧化剂浓度为0.01-3重%,或含有平均粒径在50nm以下、粒径分布的标准偏差值大于5nm的磨料。
公开/授权文献
- CN1966548A 化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法 公开/授权日:2007-05-23