化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
摘要:
本发明提供的化学机械研磨用研磨剂,含有导体氧化剂、金属表面的保护膜形成剂、酸和水,pH低于3,氧化剂浓度为0.01-3重%,或含有平均粒径在50nm以下、粒径分布的标准偏差值大于5nm的磨料。
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