Invention Grant
- Patent Title: 等离子体加工系统的多片挡板组件
- Patent Title (English): Multi-piece baffle plate assembly for a plasma processing system
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Application No.: CN200580013389.2Application Date: 2005-04-29
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Publication No.: CN1947216BPublication Date: 2011-11-16
- Inventor: D·费里斯 , A·斯里瓦斯塔瓦 , M·滕
- Applicant: 艾克塞利斯技术公司
- Applicant Address: 美国马萨诸塞州
- Assignee: 艾克塞利斯技术公司
- Current Assignee: 朗姆研究公司
- Current Assignee Address: 美国马萨诸塞州
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 杨凯; 张志醒
- Priority: 10/836,516 2004.04.30 US
- International Application: PCT/US2005/014588 2005.04.29
- International Announcement: WO2005/112072 EN 2005.11.24
- Date entered country: 2006-10-27
- Main IPC: H01J37/32
- IPC: H01J37/32
Abstract:
等离子体加工系统包括至少一个多片挡板组件。多片挡板组件一般包括至少一个环形的环部件，具有开口和插入部分，插入部分的尺寸使其可以安装在该开口内。各片挡板可以由陶瓷材料制成。使等离子体加工过程中挡板内热梯度所造成的影响减到最少。
Public/Granted literature
- CN1947216A 等离子体加工系统的多片挡板组件 Public/Granted day:2007-04-11
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