Invention Publication
CN1910521A 正型感光性组合物
无效 - 撤回
- Patent Title: 正型感光性组合物
- Patent Title (English): Positive photosensitive composition
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Application No.: CN200580002009.5Application Date: 2005-07-12
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Publication No.: CN1910521APublication Date: 2007-02-07
- Inventor: 佐藤勉
- Applicant: 株式会社新克
- Applicant Address: 日本国千叶县
- Assignee: 株式会社新克
- Current Assignee: 株式会社新克
- Current Assignee Address: 日本国千叶县
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 朱丹
- Priority: 248590/2004 2004.08.27 JP
- International Application: PCT/JP2005/012826 2005.07.12
- International Announcement: WO2006/022086 JA 2006.03.02
- Date entered country: 2006-07-06
- Main IPC: G03F7/039
- IPC: G03F7/039 ; G03F7/00 ; G03F7/004
Abstract:
提供一种正型感光性组合物，该组合物可以在无需热处理和25～60％湿度条件下得到非常优良的密接性，可以在低碱性强度下显影，能够保持高感光度并能进行不产生残渣的显影，能获得鲜明、清晰的轮廓，因抗蚀膜非常坚硬而能提高显影前处理中的耐擦伤性。所述正型感光性组合物含有(A)分子中至少有一个羧基的碱溶性高分子物质；(B)吸收显影曝光光源的红外线将其转变成热的光热变换物质；及(C)硫醇化合物。
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IPC分类:
