发明公开
CN1906847A 振子的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 振子的制造方法
- 专利标题（英）： Oscillator manufacturing method
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申请号： CN200580001601.3申请日： 2005-09-16
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公开(公告)号： CN1906847A公开(公告)日： 2007-01-31
- 发明人: 山本泉 , 池田智夫
- 申请人： 西铁城时计株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 西铁城时计株式会社
- 当前专利权人： 西铁城时计株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 张敬强
- 优先权： 270906/2004 2004.09.17 JP
- 国际申请： PCT/JP2005/017157 2005.09.16
- 国际公布： WO2006/030900 JA 2006.03.23
- 进入国家日期： 2006-06-12
- 主分类号： H03H3/02
- IPC分类号： H03H3/02 ; H03H9/215
摘要：
本发明涉及由晶体等振动片构成的振子的制造方法。作为对于晶体蚀刻为耐蚀膜的金属膜，Cr膜作为底层、Au膜作为表面层使用，在光刻胶层形成外形的图形后，进行Au膜的蚀刻，接着在进行槽部的图形形成后进行Cr膜的蚀刻。由于光刻胶层用Au膜的蚀刻液不会产生表面变质层，因此这样做，可以在没有表面变质层的状态下进行槽部的图形形成，因而可形成精度高的槽部。
公开/授权文献
- CN100527610C 振子的制造方法 公开/授权日：2009-08-12
