发明授权

玻璃基板移送装置
摘要:
一玻璃基板移送装置包括:一位置检知单元、一移动机构、一搬运手臂,以及一手臂控制单元。位置检知单元用以检知玻璃基板相对于一基准点的位置偏移量,移动机构带动位置检知单元相对于该玻璃基板移动,搬运手臂用以将玻璃基板自一第一位置搬移至一第二位置,手臂控制单元则依据该玻璃基板相对于该基准点的位置偏移量,对该搬运手臂的移动路径进行补偿与校正。
公开/授权文献
0/0