发明公开

单纵模激光二极管
摘要:
一种单模、蚀刻面为分布式布拉格反射激光器包括AlGaIn As/InP激光谐振腔,具有多个法布里-佩罗特元件前端镜组合,以及后端检测器。该前端镜组合元件和后端反射元件包括输入和输出蚀刻面,并且激光谐振腔是蚀刻脊形谐振腔,它们都通过两个步骤的光刻和CAIBE工艺从外延晶片形成的。
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