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基片存储容器及其制造方法
摘要:
本发明公开一种基片存储容器,包括容器主体、第一支撑部件和第二支撑部件。容器主体包括后壁和一对侧壁,用于将基片存储在侧壁之间。第一支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分。第二支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分,并且位于后壁和第一支撑部件之间。第一支撑部件和第二支撑部件覆盖有摩擦性能低于容器主体摩擦性能的树脂层。
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