发明授权
CN1865096B 基片存储容器及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 基片存储容器及其制造方法
- 专利标题(英): Substrate storage container and method for manufacturing the same
-
申请号: CN200610080573.5申请日: 2006-05-17
-
公开(公告)号: CN1865096B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: 长谷川晃裕 , 三村博
- 申请人: 信越聚合物株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 信越聚合物株式会社
- 当前专利权人: 信越聚合物株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 周艳玲; 王琦
- 优先权: 2005-144137 2005.05.17 JP
- 主分类号: H01L21/673
- IPC分类号: H01L21/673 ; B65D85/86 ; H01L21/68 ; B29B11/14
摘要:
本发明公开一种基片存储容器,包括容器主体、第一支撑部件和第二支撑部件。容器主体包括后壁和一对侧壁,用于将基片存储在侧壁之间。第一支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分。第二支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分,并且位于后壁和第一支撑部件之间。第一支撑部件和第二支撑部件覆盖有摩擦性能低于容器主体摩擦性能的树脂层。
公开/授权文献
- CN1865096A 基片存储容器及其制造方法 公开/授权日:2006-11-22
IPC分类: