发明公开
CN1853006A 形成碳纳米管的方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 形成碳纳米管的方法
- 专利标题(英): Method of forming carbon nanotubes
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申请号: CN200380107266.6申请日: 2003-11-21
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公开(公告)号: CN1853006A公开(公告)日: 2006-10-25
- 发明人: 康盛球 , 克雷格·贝
- 申请人: 赛得里姆显示器公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 赛得里姆显示器公司
- 当前专利权人: 赛得里姆显示器公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 郭国清; 樊卫民
- 优先权: 10/302,126 2002.11.22 US
- 国际申请: PCT/US2003/037576 2003.11.21
- 国际公布: WO2004/048258 EN 2004.06.10
- 进入国家日期: 2005-06-22
- 主分类号: C30B29/04
- IPC分类号: C30B29/04 ; C30B29/06
摘要:
使用等离子体化学淀积方法在基材表面上形成碳纳米管。在纳米管已经生长以后,在新近形成的纳米管结构上实施处理步骤。该后处理可从生长的纳米管的壁上除去石墨及其他碳粒子控制纳米管层的厚度。在相同基材温度下,用等离子体实施后处理。对于该后处理,含氢气体用作等离子体源气体。在从纳米管生长停止转变到后处理步骤期间,等离子体处理室中的压力用上述纯化气体稳定,而不关闭该室中的等离子体。这消除了清除和抽空该等离子体处理室的需要。
IPC分类: