用于大面积衬底等离子体反应器的RF电流回路
摘要:
提供了一种用于提供室壁和衬底支撑之间的RF电流返回电流路径的装置,包括具有第一端和第二端的低电阻柔性幕,第一端适于电连接到室壁,第二端适于连接到所述衬底支撑,其中所述幕还包括位于第一端和第二端之间的轴向距离上的幕材料中的至少一个折叠和切割在邻近第二端的幕中的至少一个穿孔。
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