发明授权
- 专利标题： 电子显微镜检测样品用的研磨工具
- 专利标题（英）： Tools for grinding samples of detection for electron microscope
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申请号： CN200410099076.0申请日： 2004-12-27
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公开(公告)号： CN1796050B公开(公告)日： 2010-04-28
- 发明人: 秦立勇 , 邹丽君 , 陈强 , 陈险峰
- 申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号
- 专利权人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 李勇
- 主分类号： B24D15/00
- IPC分类号： B24D15/00 ; B24B49/00 ; G01N1/00 ; G01C5/00
摘要：
制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具，包括：底座(10)，具有T形结构；上螺丝(11)、左螺丝(12)、右螺丝(13)、锁紧螺丝(14)；样品底座(15)；左螺丝(12)和右螺丝(13)对称地设置在T-形底座一横的两端，上螺丝(11)设置在T-形底座一竖的末端；锁紧螺丝(14)设置在T-形底座一竖的中段位置；样品底座(15)设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边，用样品底座(15)固定待研磨的样品(16)，其特征是，还包括两个精密水平仪(17)以及固定橡胶塞(18)，两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处的平行六面体上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。
公开/授权文献
- CN1796050A 电子显微镜检测样品用的研磨工具 公开/授权日：2006-07-05
