发明公开
CN1787966A 硅石和硅石型淤浆
无效 - 撤回
- 专利标题： 硅石和硅石型淤浆
- 专利标题（英）： Silica and silica-based slurry
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申请号： CN03826706.3申请日： 2003-08-01
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公开(公告)号： CN1787966A公开(公告)日： 2006-06-14
- 发明人: S·D·赫尔灵 , C·P·麦克卡恩 , S·V·巴布 , 李玉琢 , S·纳拉亚南
- 申请人： PPG工业俄亥俄公司
- 申请人地址： 美国俄亥俄州
- 专利权人： PPG工业俄亥俄公司
- 当前专利权人： PPG工业俄亥俄公司
- 当前专利权人地址： 美国俄亥俄州
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 龙传红
- 优先权： 10/627,776 2003.07.28 US
- 国际申请： PCT/US2003/024287 2003.08.01
- 国际公布： WO2005/016822 EN 2005.02.24
- 进入国家日期： 2005-12-28
- 主分类号： C01B33/12
- IPC分类号： C01B33/12 ; C01B33/187 ; C01B33/193 ; C09G1/02 ; C09K3/14
摘要：
本发明涉及硅石、淤浆组合物及其制备方法。尤其，本发明的硅石包括聚集的初级粒子。引入了硅石的淤浆组合物适合于抛光制品，尤其可用于半导体基片和其它微电子基片的化学机械平整处理。
