发明授权
CN1780009B 压电/电致伸缩设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 压电/电致伸缩设备
- 专利标题(英): Piezoelectric/electrostrictive device
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申请号: CN200510116645.2申请日: 2005-10-26
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公开(公告)号: CN1780009B公开(公告)日: 2010-05-05
- 发明人: 七泷努 , 吉冈邦彦 , 山口浩文
- 申请人: 日本碍子株式会社
- 申请人地址: 日本爱知
- 专利权人: 日本碍子株式会社
- 当前专利权人: 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 郝庆芬
- 优先权: 2004-335750 2004.11.19 JP
- 主分类号: H01L41/09
- IPC分类号: H01L41/09 ; G01N11/16
摘要:
本发明提供一种能够有效防止薄壁隔板部的振动衰减,保持高位移(振幅)且响应性好、可进行高精度(高分辨率、灵敏性)检测的压电/电致伸缩设备。其具有框状的厚壁部(11)及薄壁隔板部(12),通过由厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)形成与外部连通的空腔(13)的陶瓷基体(1);和具有包含下部电极(21)、压电/电致伸缩膜(22)及上部电极(23)的层结构的压电/电致伸缩器件(2)来构成,另外,使薄壁隔板部(12)外侧呈凸出的弧状,并且使所述压电/电致伸缩器件(2)在其内部残留有与和薄壁隔板部(12)的固定面平行的拉应力F。
公开/授权文献
- CN1780009A 压电/电致伸缩设备 公开/授权日:2006-05-31
IPC分类: