发明公开
CN1752278A 在球面衬底上制造金刚石涂层的方法及其装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 在球面衬底上制造金刚石涂层的方法及其装置
- 专利标题（英）： Method for mfg. diamond coating on spherical substrate and device thereof
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申请号： CN200510094829.3申请日： 2005-10-14
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公开(公告)号： CN1752278A公开(公告)日： 2006-03-29
- 发明人: 卢文壮 , 左敦稳 , 徐锋 , 黎向锋 , 王珉
- 申请人： 南京航空航天大学
- 申请人地址： 江苏省南京市御道街29号
- 专利权人： 南京航空航天大学
- 当前专利权人： 南京航空航天大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市御道街29号
- 代理机构： 南京天华专利代理有限责任公司
- 代理商 瞿网兰
- 主分类号： C23C16/27
- IPC分类号： C23C16/27 ; C23C16/44
摘要：
本发明针对目前急需解决了球面衬底的CVD金刚石沉积成形问题，提出了一种在球面衬底上制造金刚石涂层的方法及其装置，通过均匀表面温度场，在球面衬底表面均匀制备CVD金刚石涂层，通过在工作台的下方安装一个由特种陶瓷制成的锥形辊，锥形辊带动球面衬底旋转，使得球面衬底表面温度处于稳定状态，通过沉积纳米尺寸颗粒组成的CVD金刚石涂层来降低涂层表面粗糙度，提高涂层韧性。本发明保证了球面衬底表面沉积CVD金刚石膜时温度场均匀、稳定，使得CVD金刚石膜的成核和生长能够均匀、稳定地进行，沉积的纳米CVD金刚石涂层的表面粗糙度很低，涂层不需要进一步加工就可以直接使用。
公开/授权文献
- CN100387753C 在球面衬底上制造金刚石涂层的方法及其装置 公开/授权日：2008-05-14
IPC分类:
