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复晶矽/复晶矽电容的制造方法
Abstract:
一种复晶矽/复晶矽电容制造方法,适用于一具有绝缘区及主动区的基底,该基底表面已形成一第一绝缘层,在该第一绝缘层依序形成一第一导体层、一第二绝缘层及一第一导体层;同时蚀刻该第二导体层及该第二绝缘层,形成该电容的上电极板及介电层在该第一导体层;以及蚀刻该第一导体层及该第一绝缘层,形成该电容的下电极板于该绝缘区上及闸极结构于该主动区上。
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