Invention Publication
CN1431696A 复晶矽/复晶矽电容的制造方法
无效 - 撤回
- Patent Title: 复晶矽/复晶矽电容的制造方法
- Patent Title (English): Method for mfg. polisilicon/polisilicon capacitance
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Application No.: CN02101544.9Application Date: 2002-01-09
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Publication No.: CN1431696APublication Date: 2003-07-23
- Inventor: 李世达
- Applicant: 矽统科技股份有限公司
- Applicant Address: 台湾省新竹科学园区
- Assignee: 矽统科技股份有限公司
- Current Assignee: 矽统科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 台湾省新竹科学园区
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 马娅佳
- Main IPC: H01L21/70
- IPC: H01L21/70 ; H01L21/285 ; H01L21/3205 ; H01L21/316

Abstract:
一种复晶矽/复晶矽电容制造方法,适用于一具有绝缘区及主动区的基底,该基底表面已形成一第一绝缘层,在该第一绝缘层依序形成一第一导体层、一第二绝缘层及一第一导体层;同时蚀刻该第二导体层及该第二绝缘层,形成该电容的上电极板及介电层在该第一导体层;以及蚀刻该第一导体层及该第一绝缘层,形成该电容的下电极板于该绝缘区上及闸极结构于该主动区上。
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IPC分类: