本发明揭示一种声表面波元件的电极图案形成方法，在压电基板1的表面形成抗蚀膜2，在压电基板1的表面上方设置光掩膜并用紫外光对抗蚀膜2进行曝光处理，由此在压电基板1表面上形成抗蚀膜图案2a，再在该压电基板1的表面上形成导体膜7，用剥离法除去抗蚀膜图案2a，形成声表面波元件的电极图案，采用紫外光进行曝光处理，紫外光的波长是用相对于压电基板1的规定厚度而言，由压电基板1中吸收使紫外光不到达压电基板1的内表面的波长。本方法能防止抗蚀膜图案的形状发生异常并完全防止其发生。