Invention Publication
CN1339873A 制造压电器件的方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 制造压电器件的方法
- Patent Title (English): Method for producing piezoelectric device
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Application No.: CN01133940.3Application Date: 2001-08-14
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Publication No.: CN1339873APublication Date: 2002-03-13
- Inventor: 坂口健二
- Applicant: 株式会社村田制作所
- Applicant Address: 日本京都府
- Assignee: 株式会社村田制作所
- Current Assignee: 株式会社村田制作所
- Current Assignee Address: 日本京都府
- Agency: 上海专利商标事务所
- Agent 洪玲
- Priority: 245802/00 2000.08.14 JP
- Main IPC: H03H9/00
- IPC: H03H9/00
Abstract:
一种有效而便宜地制造压电元件的方法,进行切片而不预先形成任何保护膜,制得的压电元件包含高度耐腐蚀电极且具有极佳的稳定电特性。依据该方法,晶片形成置于压电材料制成的压电衬底上的包括Al合金的电极。使晶片暴露于采用含卤素气体的等离子体,同时以切割水冷却晶片,进行晶片切割。切割水最好包括与Al反应以在包括Al合金的电极表面上形成保护膜的化合物。
Public/Granted literature
- CN1180490C 制造压电器件的方法 Public/Granted day:2004-12-15
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