一种避免产生寄生电容的虚拟焊料凸块结构暨制作方法
Abstract:
一种避免产生寄生电容的虚拟焊料凸块结构(parasitic capacitance-preventing dummy solder bump)包含有至少一形成于一基底表面的导电层、一覆盖于该导电层上的介电层、一形成于该介电层表面的倒装芯片球下金属层(under bump metallurgy layer,UBM layer)以及一形成于该倒装芯片球下金属层上的焊料凸块。
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