发明公开
- 专利标题: 微机电系统光学交叉连接开关
- 专利标题(英): Optical cross connecting switch for micro-electromechanical system
-
申请号: CN01101300.1申请日: 2001-01-17
-
公开(公告)号: CN1316662A公开(公告)日: 2001-10-10
- 发明人: 罗伯特·L·伍德 , 爱德华·A·希尔 , 拉马斯万米·马哈蒂万
- 申请人: 克罗诺斯集成微系统公司
- 申请人地址: 美国北卡罗来纳州
- 专利权人: 克罗诺斯集成微系统公司
- 当前专利权人: JDS尤尼费斯公司
- 当前专利权人地址: 美国北卡罗来纳州
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 杨国旭
- 优先权: 09/489,264 2000.01.21 US
- 主分类号: G02B6/35
- IPC分类号: G02B6/35
摘要:
一种微机电装置,它能将光信号从一个输入光纤转换至两个或多个输出光纤中的一个。在一个实施例中,MEMS光学交叉开关包括一个第一微电子基片,该基片具有位于其表面上的一个弹起反射镜,以及一个类似可变受控磁场源这样的旋转磁场源。该旋转磁场源能可靠地将弹起反射镜从非反射状态驱动至反射状态。此外,本发明具体实施于具有一个第一微电子基片的实施例中,该基片具有位于其表面上的一个弹起反射镜以及位于相对于第一基片的固定位置关联中的一个定位结构。