发明公开
CN1201078A 通过气相转移的方式对电子领域的专用气体进行提纯
失效 - 权利终止
- 专利标题： 通过气相转移的方式对电子领域的专用气体进行提纯
- 专利标题（英）： Purification of electronic specialty gases by vapor phase transfering
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申请号： CN98103699.6申请日： 1998-01-26
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公开(公告)号： CN1201078A公开(公告)日： 1998-12-09
- 发明人: 约翰·博尔齐奥 , 特雷西·杰克西尔
- 申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司 , 空气液体美国公司
- 申请人地址： 法国巴黎
- 专利权人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司,空气液体美国公司
- 当前专利权人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司,空气液体美国公司
- 当前专利权人地址： 法国巴黎
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 张祖昌
- 优先权： 794,346 1997.02.03 US
- 主分类号： C23F1/00
- IPC分类号： C23F1/00 ; C23F1/12
摘要：
本发明涉及一种对包含金属杂质的液化腐蚀性气体进行提纯的方法。该提纯方法的原理是基于将气相从原料容器以气相方式转移到接纳容器中。可发现,上述方法使金属浓度降低至少100倍,使所形成的浓缩物中的金属杂质值减少。上述气体转移是通过所控制的压差,而不是机械式泵送的方式实现的,从而不会产生颗粒或金属杂质。
公开/授权文献
- CN1225297C 通过气相转移的方式对电子领域的专用气体进行提纯 公开/授权日：2005-11-02
