本发明涉及一种低热膨胀合金薄板，该低热膨胀合金薄板实质上由Ni：35.0-37.0质量%、Mn：0.01-0.09质量%、Si：0.01-0.04质量%、Al：0.01-0.04质量%、以及余量的Fe组成，并且Mn/S：20-300及Mn+Si+Al≤0.15质量%，具有1.0×10-6/K以下的20-100℃的平均热膨胀系数。本发明的低热膨胀合金薄板，在制造时不会产生裂纹、断裂或缺陷，并且，在制造荫罩时能获得良好的腐蚀性能和尺寸精度。