- 专利标题： 玻璃块及其制造方法以及耐等离子体性部件
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申请号： CN202380031505.1申请日： 2023-03-17
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公开(公告)号： CN118973973A公开(公告)日： 2024-11-15
- 发明人: 小川修平 , 小川朝敬 , 金原一树
- 申请人： AGC株式会社
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： AGC株式会社
- 当前专利权人： AGC株式会社
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司 11227专利代理师王洋
- 优先权： 2022-060326 2022.03.31 JP
- 国际申请： PCT/JP2023/010756 2023.03.17
- 国际公布： WO2023/189779 JA 2023.10.05
- 进入国家日期： 2024-09-27
- 主分类号： C03C3/087
- IPC分类号： C03C3/087 ; C03C3/078 ; C03C3/085 ; C03C3/089 ; C03C3/091 ; C03C3/097 ; C03C3/112 ; H01L21/3065
摘要：
本发明涉及一种耐等离子体性部件用的玻璃块，含有硅、以及镁和钙中的至少一种，并且，将碱金属元素设为R1，碱土金属元素设为R2时，以氧化物基准的摩尔百分率表示，MgO和CaO的含量的合计为3.0摩尔％以上且小于29.0摩尔％，R2O的含量为3.0摩尔％以上且小于35.0摩尔％，R12O的含量为8.0摩尔％以下。
