一种温度分布均匀的石墨舟
摘要:
本发明公开了一种温度分布均匀的石墨舟,本发明涉及光伏电池片PECVD镀膜技术领域,包括舟体,用于承载硅片,该舟体由多个并列且间隔安装的外船页和内船页构成,外船页与内船页的结构相同,内船页的表面开设有微孔,且微孔的分布密度从内船页的中心向两端逐渐增加,内船页表面且靠近底部位置贯穿开设有散热通道。该温度分布均匀的石墨舟,通过实时根据热电偶的监测结果,调整导热机构的各个结构部件的加热功率,实现对舟体的炉口和炉尾的垫块温度的自动调节均衡功能,实现温度的均衡分布,能够对热能进行自行存储和释放,使得温度分布更加均匀,提高硅片镀膜的一致性和质量。
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