发明公开
- 专利标题: 一种温度分布均匀的石墨舟
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申请号: CN202410966678.9申请日: 2024-07-18
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公开(公告)号: CN118910584A公开(公告)日: 2024-11-08
- 发明人: 王科 , 沈贞东 , 李永仓 , 李文汉
- 申请人: 江苏润达新能源科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省盐城市建湖县经四路1号
- 专利权人: 江苏润达新能源科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏润达新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省盐城市建湖县经四路1号
- 代理机构: 南京众创睿智知识产权代理事务所
- 代理商 张宇
- 主分类号: C23C16/458
- IPC分类号: C23C16/458 ; H01L21/673 ; H01L31/18 ; C23C16/50 ; C23C16/52
摘要:
本发明公开了一种温度分布均匀的石墨舟,本发明涉及光伏电池片PECVD镀膜技术领域,包括舟体,用于承载硅片,该舟体由多个并列且间隔安装的外船页和内船页构成,外船页与内船页的结构相同,内船页的表面开设有微孔,且微孔的分布密度从内船页的中心向两端逐渐增加,内船页表面且靠近底部位置贯穿开设有散热通道。该温度分布均匀的石墨舟,通过实时根据热电偶的监测结果,调整导热机构的各个结构部件的加热功率,实现对舟体的炉口和炉尾的垫块温度的自动调节均衡功能,实现温度的均衡分布,能够对热能进行自行存储和释放,使得温度分布更加均匀,提高硅片镀膜的一致性和质量。
IPC分类: