发明公开
- 专利标题: 一种含电阻的多VDMOS器件集成电路结构及其制造方法
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申请号: CN202410956381.4申请日: 2024-07-17
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公开(公告)号: CN118888589A公开(公告)日: 2024-11-01
- 发明人: 孟军 , 鞠柯 , 徐励远 , 许柏松
- 申请人: 江苏新顺微电子股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
- 专利权人: 江苏新顺微电子股份有限公司
- 当前专利权人: 江苏新顺微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
- 代理机构: 上海申浩律师事务所
- 代理商 王南
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L27/02 ; H01L27/06 ; H01L21/336 ; H03K17/687
摘要:
本发明公开了一种含电阻的多VDMOS器件集成电路结构,包括3个共漏极VDMOS,其中2个VDMOS共用一个栅极G1,第三VDMOS栅极G3与分压环上环形多晶电阻串联,其垂直方向的结构包括作为基片的第一导电类型浓掺衬底;在浓掺衬底上设置有第一导电类型的轻掺杂外延层;在外延层上为第二导电类型的分压环结构;在分压环结构上是终端氧化层,分压环结构中间则是与浓掺衬底掺杂类型相同的有源区AA窗口;在AA窗口上形成栅氧,淀积多晶硅,并进行第一导电类型掺杂、光刻及刻蚀形成垂直交叉的栅极,和所述环形多晶电阻。采用本发明,能够耐受500V以上电压且与栅极或源极串联接漏极的高压电阻,且电阻值可以通过对多晶电阻掺杂剂量调整,降低了电路封装成本,并可满足多个组件开关需求。
IPC分类: