一种辅助飞秒激光修整金刚石装置及其修整方法
摘要:
本发明公开了一种辅助飞秒激光修整金刚石装置及其修整方法,涉及金刚石修整技术领域,其技术方案要点是:包括机台、修整组件、全浸没密封箱、相变动循环冷却组件和控制器,机台与全浸没密封箱固定链接,全浸没密封箱内部设有修整组件,全浸没密封箱底部连通有相变动循环冷却组件,相变动循环冷却组件与控制器电性连接,控制器与机台固定连接。本发明能避免在金刚石修整过程中,修整区域内脉冲间能量累积出现的热裂纹以及修整区域外热量扩散导致的石墨化损失,从而极大的提高金刚石修整的效率与质量的效果。
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