发明公开
- 专利标题: 一种基于正方型平行双环栅场效应晶体管的生物传感器及其制备方法
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申请号: CN202410738946.1申请日: 2024-06-07
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公开(公告)号: CN118748207A公开(公告)日: 2024-10-08
- 发明人: 贾护军 , 苏琪钰 , 赵淋娜 , 曹伟涛 , 杨万里 , 韦星语 , 曹震 , 杨银堂
- 申请人: 西安电子科技大学 , 西安电子科技大学杭州研究院
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号;
- 专利权人: 西安电子科技大学,西安电子科技大学杭州研究院
- 当前专利权人: 西安电子科技大学,西安电子科技大学杭州研究院
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号;
- 代理机构: 西安智大知识产权代理事务所
- 代理商 弋才富
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/423 ; H01L29/43 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开了一种基于正方型平行双环栅场效应晶体管的生物传感器及其制备方法,生物传感器包括正方型结构的沟道,沟道的两侧分别设置有源区和漏区,源区和漏区的外端分别覆盖有源电极和漏电极;漏区和源区上分别环设有靠近沟道的保护层,沟道上分别环设有两组靠近保护层的栅极,栅极包括分别环设在沟道上靠近保护层的低K栅介质层,低K栅介质层上分别覆盖有高K栅介质层,高K栅介质层上分别覆盖有栅金属层;本发明制备的生物传感器具有灵敏度高和栅控能力高的特点,且制备工艺简单,工艺成本较低。
IPC分类: