本发明提供了一种数据通信方法、下位机及上位机，涉及设备通讯技术领域，该设备通讯控制方法包括：获取上位机发送的订阅数据，监控订阅数据对应的运行状态数据；其中，运行状态数据包括半导体工艺设备在工艺过程中产生的工艺运行数据；若运行状态数据发生变化，判断向上位机发送数据的发送队列是否队满；若发送队列队满，将变化后的运行状态数据作为新的溢出数据添加至溢出队列中。本发明能够避免数据传输较多时将发送队列溢出的数据丢弃造成数据丢失，尽可能地保证运行状态数据的完整性，提升了上位机与下位机的数据传输可靠性。