发明公开
- 专利标题： 一种热相移器及其制作方法
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申请号： CN202410935742.7申请日： 2024-07-12
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公开(公告)号： CN118642281A公开(公告)日： 2024-09-13
- 发明人: 陈泉安
- 申请人： 宁波元芯光电子科技有限公司
- 申请人地址： 浙江省宁波市鄞州区姜山镇盛阳路1341号
- 专利权人： 宁波元芯光电子科技有限公司
- 当前专利权人： 宁波元芯光电子科技有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市鄞州区姜山镇盛阳路1341号
- 代理机构： 宁波诚源专利事务所有限公司
- 代理商 张一平; 林辉
- 主分类号： G02F1/01
- IPC分类号： G02F1/01 ; G02B6/13 ; G02B6/136 ; G02B6/122 ; G02B6/12
摘要：
本发明公开了一种热相移器及其制作方法，包括深刻蚀悬空波导结构，所述深刻蚀悬空波导结构包括深刻蚀掩埋悬空波导区，所述深刻蚀掩埋悬空波导区包括：深刻蚀掩埋悬空波导，包括从上往下依次设置的上包层、下包层、空气隔热层和衬底，所述上包层和下包层部分接触，并且上包层和下包层内包裹有波导芯层；以及热电极，置于深刻蚀掩埋悬空波导的顶部。
