本发明为一种低温精馏回收电子级硅烷和氨气的装置及其使用方法，其中装置包括冷箱单元，所述冷箱单元内安装有板翅式换热器、初分精馏塔、硅烷精馏塔、氨提馏塔，其中初分精馏塔的一端与板翅式换热器连接，另一端上方与硅烷精馏塔连接，下方与氨提馏塔连接，所述硅烷精馏塔的上方通过板翅式换热器输出富氢气，下方通过板翅式换热器输出SIH4，所述氨提馏塔的下方输出NH3，上方刷输出尾气向外排放。本发明工艺流程简单、硅烷回收率高，具有很好的实用价值和经济效益。