发明公开
- 专利标题: 用于转塔式固晶装置的邦头的平衡结构
-
申请号: CN202410315591.5申请日: 2024-03-19
-
公开(公告)号: CN118507417A公开(公告)日: 2024-08-16
- 发明人: 艾兵
- 申请人: 上海赢朔电子科技股份有限公司
- 申请人地址: 上海市青浦区久远路389号2幢
- 专利权人: 上海赢朔电子科技股份有限公司
- 当前专利权人: 上海赢朔电子科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市青浦区久远路389号2幢
- 代理机构: 北京海润天睿律师事务所
- 代理商 李彦波; 陈霓
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683 ; H01L21/60
摘要:
本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的邦头的平衡结构,包括跷跷板结构单元和蛙形结构单元;跷跷板结构单元包括十字形件(10)、蝎形件(20)、以及弹性组件(30);蛙形结构单元包括蛙形件(70);十字形件(10)包括主体部(11)、第一翼部(12)、以及第二翼部(13);十字形件(10)的主体部(11)的前端用于与吸嘴组件(60)连接;十字形件(10)的第一翼部(12)和第二翼部(13)均与蝎形件(20)的蝎头部(21)活动连接,使得十字形件(10)的主体部(11)和蝎形件(20)的蝎头部(21)构成一个跷跷板结构。所述平衡结构能够实现吸嘴在靠近以及接触芯片时能够适当缓冲,进而避免吸嘴接触到芯片的瞬间芯片表面留痕或破损,甚至芯片碎裂。
IPC分类: