用于转塔式固晶装置的邦头的平衡结构
摘要:
本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的邦头的平衡结构,包括跷跷板结构单元和蛙形结构单元;跷跷板结构单元包括十字形件(10)、蝎形件(20)、以及弹性组件(30);蛙形结构单元包括蛙形件(70);十字形件(10)包括主体部(11)、第一翼部(12)、以及第二翼部(13);十字形件(10)的主体部(11)的前端用于与吸嘴组件(60)连接;十字形件(10)的第一翼部(12)和第二翼部(13)均与蝎形件(20)的蝎头部(21)活动连接,使得十字形件(10)的主体部(11)和蝎形件(20)的蝎头部(21)构成一个跷跷板结构。所述平衡结构能够实现吸嘴在靠近以及接触芯片时能够适当缓冲,进而避免吸嘴接触到芯片的瞬间芯片表面留痕或破损,甚至芯片碎裂。
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