掩膜版及其制备方法
摘要:
本公开属于显示面板制备技术领域,提供了一种掩膜版及其制备方法。本公开提供的掩膜版,包括:第一掩膜层和第二掩膜层。其中,第一掩膜层开设有贯穿第一掩膜层的多个容纳孔;第二掩膜层包括多个掩膜部,每个掩膜部填充在一个容纳孔中。掩膜版还开设有多个掩膜通孔,掩膜通孔贯穿第一掩膜层和/或掩膜部,第一掩膜层和所述第二掩膜层的热膨胀系数不同。本公开可以有效通过热膨胀系数低的一者限制热膨胀系数高的一者的膨胀度,从而进一步减小或避免掩模版上的掩膜通孔在温度升高的情况下产生位置偏移,以保证蒸镀工艺的准确度,同时也能避免热膨胀系数低的一者由于温度升高而产生弯曲甚至破裂。
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