本发明涉及误差补偿技术领域，公开了一种大理石平台运动位置温度误差标定及补偿方法、系统，标定方法包括以下步骤：构建基于光栅尺测量运动位置的误差模型：e=A*p(t‑t0)+B(t‑t0)；分别在t0温度和若干组不同温度t下，从原点以等间隔移动轴，记录运动位置光栅尺测量值和实际位置，根据光栅尺测量值和实际位置得到t0温度和若干组不同温度t下的实际位置误差；基于误差模型和实际位置误差拟合确定A和B的值；根据误差模型公式计算各个温度下的实际位置误差e，完成标定。该方案针对其中的温度影响的误差进行处理，根据模型计算得到的值可以用来补偿掉大部分温度变化引起的误差，能够在一定的温度变化范围内，将误差减小到最大误差的25%以内。