本发明提供一种航发钛合金叶片材料电阻率精确测量方法，属于重要物性参数测试领域，步骤如下：将航发钛合金叶片材料用钨丝线切割、经过砂纸预磨后将试样表面抛光制得规定尺寸的样品基底；设计出符合测试要求图案后，将样品基底通过匀胶机涂抹光刻胶后放入光刻机进行光刻，放入显影液中反应；后将样品送入物理气相沉积仪器制作得到待测样品；将样品放入探针台测量系统，利用等效电路方式消除测量误差，最终得到精确的电阻率；样品为表面镀上纯金层(纯度为99.999％)和钛层的航发钛合金叶片材料，本发明测量的电阻率精度高，适合关键构件材料的精确测量，可以为现有航发钛合金叶片电阻率与其服役性能之间建立联系,为材料强化的发展提供理论基础。