一种旋架镀膜机及其镀膜方法
摘要:
本发明涉及一种旋架镀膜机及其镀膜方法,包括真空腔室、溅射装置、太阳轴、旋转支架、太阳轴驱动装置,多个行星轴、多个镀膜品挂架、致摆件、多个从动件、多个引导磁铁和多个受引导磁铁,旋转支架固定安装在太阳轴上,真空腔室腔体处在溅射口正对的区域构成溅射区域;各个行星轴可转动安装在旋转支架上,镀膜品挂架、从动件安装在对应的行星轴上;处在溅射区域的行星轴上的从动件与致摆件相配合;受引导磁铁安装在对应行星轴上并与各个引导磁铁的位置相对应。本发明不仅能够一次针对多个镀膜品进行镀膜,而且可以改善镀膜品在被溅射镀膜时在水平方向上膜层不均的问题,可提高对镀膜品镀膜的均匀性,有利于保证溅射镀膜的品质。
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