发明公开
- 专利标题: 一种旋架镀膜机及其镀膜方法
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申请号: CN202410886286.1申请日: 2024-07-03
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公开(公告)号: CN118407013A公开(公告)日: 2024-07-30
- 发明人: 沈奕 , 陈玉云 , 吕岳敏
- 申请人: 汕头超声显示器技术有限公司 , 汕头超声显示器(二厂)有限公司 , 汕头超声显示器有限公司
- 申请人地址: 广东省汕头市龙湖区龙江路12号(超声电子工业园)内液晶显示器主厂房东南侧; ;
- 专利权人: 汕头超声显示器技术有限公司,汕头超声显示器(二厂)有限公司,汕头超声显示器有限公司
- 当前专利权人: 汕头超声显示器技术有限公司,汕头超声显示器(二厂)有限公司,汕头超声显示器有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省汕头市龙湖区龙江路12号(超声电子工业园)内液晶显示器主厂房东南侧; ;
- 代理机构: 汕头市潮睿专利事务有限公司
- 代理商 陈烨彬; 卢梓雄
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50 ; C23C14/54 ; C23C14/35
摘要:
本发明涉及一种旋架镀膜机及其镀膜方法,包括真空腔室、溅射装置、太阳轴、旋转支架、太阳轴驱动装置,多个行星轴、多个镀膜品挂架、致摆件、多个从动件、多个引导磁铁和多个受引导磁铁,旋转支架固定安装在太阳轴上,真空腔室腔体处在溅射口正对的区域构成溅射区域;各个行星轴可转动安装在旋转支架上,镀膜品挂架、从动件安装在对应的行星轴上;处在溅射区域的行星轴上的从动件与致摆件相配合;受引导磁铁安装在对应行星轴上并与各个引导磁铁的位置相对应。本发明不仅能够一次针对多个镀膜品进行镀膜,而且可以改善镀膜品在被溅射镀膜时在水平方向上膜层不均的问题,可提高对镀膜品镀膜的均匀性,有利于保证溅射镀膜的品质。
公开/授权文献
- CN118407013B 一种旋架镀膜机及其镀膜方法 公开/授权日:2024-09-10
IPC分类: