- 专利标题: 一种基于机器视觉的半导体晶圆智能切割系统
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申请号: CN202410833739.4申请日: 2024-06-26
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公开(公告)号: CN118372382A公开(公告)日: 2024-07-23
- 发明人: 朱士峰 , 邵玉坤
- 申请人: 江苏华芯智造半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市睢宁县双沟镇临空大道1号
- 专利权人: 江苏华芯智造半导体有限公司
- 当前专利权人: 江苏华芯智造半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市睢宁县双沟镇临空大道1号
- 代理机构: 合肥集知匠心知识产权代理事务所
- 代理商 盛时永
- 主分类号: B28D5/02
- IPC分类号: B28D5/02 ; G06T7/00 ; G06T7/62 ; G06T7/73 ; B28D7/02 ; B28D7/00
摘要:
本发明属于半导体晶圆切割技术领域,公开一种基于机器视觉的半导体晶圆智能切割系统,该系统包括材料质量判断模块、切割操作定位模块、切割定位校准模块、切割定位评价模块、晶圆切割操作模块、产品质量分析模块、产品异常识别模块、切割参数调整模块和数据存储库。本发明通过基于历史校正记录对于刀片移动精准性进行分析,进而基于分析结果判断是否需要对机器进行维修,可以精确地识别刀片移动精度的变化趋势和潜在问题,避免因机器故障导致的生产中断和损失,同时本发明通过分析异常晶圆异常指向进而分析调节切割参数,负反馈调节机制确保了切割参数能够快速适应生产过程中的变化,有效减少不良品的产生,提高晶圆的质量。
公开/授权文献
- CN118372382B 一种基于机器视觉的半导体晶圆智能切割系统 公开/授权日:2024-09-17