一种激光二极管绝缘散热器的制备方法
摘要:
本发明涉及半导体激光器技术领域,具体是一种激光二极管绝缘散热器的制备方法。本发明通过对覆铜陶瓷基板依次进行贴膜、曝光、显影、刻蚀,再在覆铜陶瓷基板的正面贴膜保护,背面化学镀银,结束后除去贴膜,激光打孔,切割形成通孔,得到覆铜陶瓷基板A。取3块铜片依次进行贴膜、曝光、显影、刻蚀,分别得到两层微通道层和一层引导层,再将刻蚀后的表面依次进行化学镀银、电镀银、电火花线切割。最后将覆铜陶瓷基板A、微通道层、引导层进行叠加、真空烧结、线切割、研磨抛光、化学镀镍金、涂覆环氧化聚氨酯涂料,制备得到成品。本发明制备得到的成品具有良好的散热能力和耐腐蚀性能,因此在半导体激光器技术领域具有广阔的应用前景。
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