- 专利标题: 一种Cu2ZnSnS4吸收层与柔性Mo背电极间MoS2界面层的调控方法和评估方法
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申请号: CN202410307608.2申请日: 2024-03-18
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公开(公告)号: CN118241158A公开(公告)日: 2024-06-25
- 发明人: 黄美红 , 王锋 , 林俊辉 , 潘梦鹞 , 甘俊旗 , 钟玉灵 , 李佳威 , 陈少伟 , 解梦秋 , 李耀锋
- 申请人: 广东工贸职业技术学院
- 申请人地址: 广东省广州市广州大道北1098号
- 专利权人: 广东工贸职业技术学院
- 当前专利权人: 广东工贸职业技术学院
- 当前专利权人地址: 广东省广州市广州大道北1098号
- 代理机构: 广东众达律师事务所
- 代理商 张雪华; 肖永阳
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/02 ; C23C14/14 ; C23C14/34 ; H01L31/18 ; H01L31/032 ; H01L21/02
摘要:
本发明涉及薄膜太阳电池领域,尤其是涉及一种Cu2ZnSnS4吸收层与柔性Mo背电极间MoS2界面层的调控方法和评估方法,调控方法包括Si缓冲层的制备:对柔性Mo基底进行清洗,采用氮气吹干Mo基底表面后,通过射频溅射法在柔性Mo基底上制备20~40nm厚的Si缓冲层;Cu2ZnSnS4薄膜吸收层的制备:在制备好Si缓冲层的样品上再通过磁控溅射法进行CuZnSn金属前驱体薄膜的制备,然后将包含Si缓冲层的CuZnSn金属前驱体薄膜在管式炉进行高温硫化处理,制得Cu2ZnSnS4薄膜,本发明采用与Cu2ZnSnS4吸收层和Mo背电极的晶格常数接近的Si缓冲层进行Cu2ZnSnS4/Mo的背界面处MoS2界面层厚度的调控,改善Cu2ZnSnS4/Mo的背界面处的欧姆接触特性。
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