一种Cu2ZnSnS4吸收层与柔性Mo背电极间MoS2界面层的调控方法和评估方法
摘要:
本发明涉及薄膜太阳电池领域,尤其是涉及一种Cu2ZnSnS4吸收层与柔性Mo背电极间MoS2界面层的调控方法和评估方法,调控方法包括Si缓冲层的制备:对柔性Mo基底进行清洗,采用氮气吹干Mo基底表面后,通过射频溅射法在柔性Mo基底上制备20~40nm厚的Si缓冲层;Cu2ZnSnS4薄膜吸收层的制备:在制备好Si缓冲层的样品上再通过磁控溅射法进行CuZnSn金属前驱体薄膜的制备,然后将包含Si缓冲层的CuZnSn金属前驱体薄膜在管式炉进行高温硫化处理,制得Cu2ZnSnS4薄膜,本发明采用与Cu2ZnSnS4吸收层和Mo背电极的晶格常数接近的Si缓冲层进行Cu2ZnSnS4/Mo的背界面处MoS2界面层厚度的调控,改善Cu2ZnSnS4/Mo的背界面处的欧姆接触特性。
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