发明公开
- 专利标题： 氧化铟膜或含银金属膜蚀刻液组合物及其制备方法
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申请号： CN202311561273.9申请日： 2023-11-22
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公开(公告)号： CN118223022A公开(公告)日： 2024-06-21
- 发明人: 李宝研 , 金世训 , 郑民敬 , 禹承熙 , 李熙雄 , 金载烨 , 金良姈 , 朴相承
- 申请人： 易安爱富科技有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市器兴区塔实路35番街14
- 专利权人： 易安爱富科技有限公司
- 当前专利权人： 易安爱富科技有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市器兴区塔实路35番街14
- 代理机构： 成都超凡明远知识产权代理有限公司
- 代理商 洪玉姬
- 优先权： 10-2022-0180007 20221221 KR
- 主分类号： C23F1/16
- IPC分类号： C23F1/16
摘要：
本发明涉及一种氧化铟膜或含银金属膜蚀刻液组合物及其制备方法，根据本发明，可通过抑制下部膜受损并最大限度地减少偏差不良及残渣或析出物的产生，从而表现出优异的蚀刻特性。
IPC分类:
