TOPCON电池正面绕镀多晶硅刻蚀的监控方法
摘要:
本发明提供了一种TOPCON电池正面绕镀多晶硅刻蚀的监控方法,属于太阳能电池技术领域,包括对化学清洗腐蚀去绕镀后的硅片进行外观监控、对外观监控合格的硅片进行腐蚀后减重监控、对经减重监控合格的硅片进行表面亲疏水监控。本发明提供的TOPCON电池正面绕镀多晶硅刻蚀的监控方法,从外观、减重及表面亲疏水多元角度对去绕镀工序的工艺质量进行多级层层监控,及时调整化学腐蚀液浓度、温度等条件,不合格发现后及时返工,大大降低了不合格品的比例,提升了电池成品合格率,降低了电池综合制作成本。
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