本发明涉及微纳电子器件加工、水密性封装、离子选择性电极制作及电压精密测量技术领域，且公开了一种全固态高精度pH值和温度传感器制备方法，该方法包括：步骤一，在绝缘衬底一面生长氮化钛薄膜层；步骤二，利用掩膜在氮化钛薄膜层上淀积图形化的金属薄膜；步骤三，在玻璃片另外一面上生长金属银薄膜；步骤四，将金属银薄膜连阳极，在氯化钠水溶液中制备银氯化银复合薄膜；步骤五，将玻璃片整体退火；步骤六，划片形成分立pH值敏感芯片；该制备方法完全与CMOS工艺兼容，利用本发明可以大批量制造全固态高精度pH值和温度传感器，该传感器在工业自动化控制、海洋观测、食品生产、气象、环境等领域拥有广泛应用前景。