本发明涉及化工技术领域，具体涉及一种利用含氟废气生产无水氟化氢的系统及方法。包括尾气净化装置、SO2吸收及解析装置、制酸装置、混酸分离装置和氟酸精制装置；尾气净化装置用于对含氟尾气进行吸收，形成混酸和待净化尾气；SO2吸收及解析装置用于对待净化尾气中的SO2进行吸收和解析，输出净化尾气及SO2气体；制酸装置用于根据输入的SO2气体制得指定浓度的硫酸；混酸分离装置用于对混酸进行分离，得到氟酸气体以及一定浓度范围的硫酸；氟酸精制装置用于利用输入的指定浓度的硫酸对输入的氟酸气体进行干燥及分离，得到无水氟化氢。其氟化氢主含量高，设备无腐蚀，能耗低，且不会产生二次污染。