本申请涉及一种圆晶定位方法、装置及圆晶加工方法，所述圆晶包括多个die，所述圆晶定位方法包括：获取所述圆晶的第一参考图像，根据所述第一参考图像和第一定位模板，获取第一旋转角度；使所述圆晶按照所述第一旋转角度转动；获取按照所述第一旋转角度转动后的圆晶的第二参考图像，根据所述第二参考图像和所述第一定位模板，获取第二旋转角度；使所述圆晶按照所述第二旋转角度转动；获取按照所述第二旋转角度转动后的圆晶的第三参考图像，根据所述第三参考图像和第二定位模板，获取所述圆晶包含的每一个die的位置信息。本申请可以实现对圆晶中每个die的较为准确的定位。