一种具有回收雾化的电路板二流体喷淋装置
摘要:
本发明属于线路板制造技术领域,公开了一种具有回收雾化的电路板二流体喷淋装置,包括显影蚀刻处理室、冷凝回收机构,冷凝回收机构包括:控制器模块;抽风冷凝模块,与控制器模块电性相连,用于抽取显影蚀刻处理室中的空气,对抽取的空气进行冷凝,回收并排出冷凝液;压缩气体流量检测模块,与控制器模块电性相连,用于检测输入二流体喷嘴的压缩气体的输入流量Q1,并将检测值传递给控制器模块;排气流量监测模块,与控制器模块电性相连,用于检测抽风冷凝模块的排气流量Q2,并将检测值传递给控制器模块;控制器模块对比流量输入流量Q1和排气流量Q2,根据对比结果调节抽风冷凝模块的抽风量,使得排气流量Q2大于流量Q1,且Q2:Q1在1.05:1至1.15:1之间。
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