分光测定装置(1)具备：准直光学系统(15)，其对来自试样(S)的测定点(a)的物体光进行准直；光检测器(21)，其具有在规定的方向上排列有多个像素的受光面；共轭面成像光学系统(11)，其设置在试样与准直光学系统之间，用于形成与该试样的表面在光学上共轭的面；振幅型衍射光栅(13)，其配置于所述共轭的面，所述振幅型衍射光栅(13)是通过在遮光构件设置多个开口而得到的，该遮光构件的光入射面或光出射面由物体光的波长范围下的遮光率高于硅的遮光率的材料形成；光路长度差赋予光学系统(16)，其将准直后的物体光分割为第一光束和第二光束并赋予光路长度差；以及干涉光学系统(17)，其使被赋予了光路长度差的第一光束与第二光束干涉，来沿着所述规定的方向在所述受光面形成干涉像。