研磨方法及研磨设备
摘要:
本公开涉及一种研磨方法及研磨设备。该研磨方法,应用于研磨工序,包括:获取前道工序中所得目标结构的厚度量测数据,厚度量测数据包括目标结构中多个量测点的厚度值;根据厚度量测数据确定第一最大厚度值;于第一最大厚度值小于第一阈值时,按照预设研磨参数对目标结构进行研磨;于厚度量测数据对应的最大厚度值大于或等于第一阈值时,对目标结构进行区域划分,并对目标结构的不同区域分别确定目标研磨参数,以根据目标研磨参数对区域进行研磨。本公开利于提高产品表面的均匀度,并有效提升产品良率。
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