发明公开
- 专利标题： 一种声表面波滤波器制造方法
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申请号： CN202410112160.9申请日： 2024-01-26
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公开(公告)号： CN117938102A公开(公告)日： 2024-04-26
- 发明人: 何成勇 , 梁柳洪 , 田本朗 , 罗淦 , 廖钦渔
- 申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 申请人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 当前专利权人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 代理机构： 重庆辉腾律师事务所
- 代理商 王海军
- 主分类号： H03H3/08
- IPC分类号： H03H3/08 ; H03H9/02 ; H10N30/081 ; H10N30/082
摘要：
本发明属于滤波器领域，具体涉及一种声表面波滤波器制造方法；该方法包括：在衬底上进行IDT层制作；在IDT层上进行调频层制作；在调频层上进行电极加厚层镀膜；采用湿法剥离工艺将镀膜后的器件存留的光刻胶及光刻胶上的金属去除干净，得到制作好的声表面波滤波器；本发明减少一层光刻，提升了生产效率；且可减少掩膜版的使用，降低了成本，具有良好的应用前景。
