发明公开
- 专利标题： 一种晶圆运输系统及方法
-
申请号： CN202410325444.6申请日： 2024-03-21
-
公开(公告)号： CN117936448A公开(公告)日： 2024-04-26
- 发明人: 谢贵久 , 张文斌 , 贺东葛 , 倪炜玲
- 申请人： 北京中电科电子装备有限公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号1号楼310室
- 专利权人： 北京中电科电子装备有限公司
- 当前专利权人： 北京中电科电子装备有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号1号楼310室
- 代理机构： 北京铁桦专利代理事务所
- 代理商 杨阳
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/68 ; H01L21/677 ; H01L21/67
摘要：
本发明一种晶圆运输系统及方法，包括：伯努利吸盘，与所述伯努利吸盘固定连接的导气筒，以及通过伯努利吸盘的流速驱动的定位结构；甩盘机构包括两端分别与所述内齿圈和第一轴固定的拉绳，以及两端分别与所述第一轴和托盘固定的复位碟簧。本发明通过上述伯努利吸盘以吹气的形式而非真空吸附的方式来运输晶圆，从而避免晶圆在运输过程中损坏；并且，由于伯努利吸盘一直吹气且吹气功率可变的原理，致使所述偏心指夹持定位所述晶圆。
公开/授权文献
- CN117936448B 一种晶圆运输系统及方法 公开/授权日：2024-05-24
IPC分类:
