存储阵列及其制备方法、存储器、电子设备
摘要:
本申请提供了一种存储阵列及其制备方法、存储器、电子设备,涉及半导体芯片技术领域,旨在提高存储器的读取/写入的效率。该存储阵列可以为二维存储阵列,还可以为三维存储阵列。存储阵列包括存储堆叠结构和沟道结构,存储堆叠结构包括交替设置的多个第一介质层和多个栅极层。沟道结构贯穿存储堆叠结构,沟道结构包括沟道层,及依次围绕在沟道层外侧的中间介质层和存储功能叠层,沟道层与中间介质层的表面相接触。其中,沟道层的材料包括半导体型碳纳米管。该存储阵列可以应用于NAND闪存,以实现对数据的读取和写入。
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