一种图形化衬底结构及制备方法、LED外延结构、LED芯片
摘要:
本发明涉及半导体制程技术领域,提供一种图形化衬底结构,包括衬底层和若干个均匀分布于衬底层上表面的凸起结构;衬底层包括由下至上依次层叠的第一衬底层、反射层和第二衬底层,反射层均匀沉积于第一衬底层上表面,第二衬底层的厚度小于第一衬底层的厚度。本发明提供的一种图形化衬底结构,其在衬底层内嵌有完整的反射层,反射层将透射进衬底层内部的光线反射回图形顶部,减少光线在图形内部的损耗,有效地提高了光提取效率。
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